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ガス溜め込み式ポンプ

COOLVAC真空ポンプは、ポンプ内の低温表面にガス状物質を低温凝縮させることで真空を発生させる冷凍機用クライオポンプです。超高真空の生成に使用されます。

COOLVACクライオポンプは、その排気原理により、すべてのガスに対して高効率な排気速度を備えています。COOLVAC真空ポンプは、10-3 mbar~10-11 mbarの圧力範囲で炭化水素を含まない超高真空を生成します。

COOLVACシリーズのすべてのクライオポンプには、すべての安全関連コンポーネントが装備されています。特に、安全バルブには排気ライン接続用の追加のDN 40 KFフランジが装備されています。

ポンプ本体は高品質なステンレス鋼製です。クライオポンプのCOOLVAC iシリーズに組み込まれているCOOLPOWER iコールドヘッドを作動させるには、COOLPAK iシリーズのヘリウムコンプレッサーが必要です。

iSmartLine(iSL)

iSmartLine(iSL)シリーズのクライオポンプは、両方のコールドヘッドステージで電気ヒーターを使用して、室温まで徐々に加熱されます。圧力、温度、および加熱電力は、COOL.DRIVE Iコントローラーによってモニタリングされます。

プロセス中、排気されたガスは次の順序で順次放出されます。

  1. クライオパネルに吸着したガス(水素、ヘリウム、ネオンなど)
  2. クライオパネルで凝縮されたガス(窒素、酸素、アルゴンなど)
  3. バッフルおよび熱輻射シールドに凝縮されたガスおよび蒸気(水蒸気など)

ライボルトの再生プロセスの利点は、不活性で非反応性のガスの再生時に追加のパージガスが必要ないことです。

お客様の利点:

  • 冷却性能の向上、省エネ、カスタマイズ運転を実現する3つの運転モードが用意されています
  • 炭化水素フリーの高真空
  • 大容量のアルゴンおよび水素
  • 内蔵COOL.DRIVE i コントローラー 1) による完全自動再生
  • ポンプの分解や真空システムの再調整が不要なため、現場でのサービスが容易です
  • 水と窒素の高い排気速度
  • 電気再生システムを使用した高速、安全、効率的な再生が可能

iBasicLine(iBL)

iBasicLine(iBL)シリーズのクライオポンプの場合、再生は、次の2つのサブステップにより手動で行われます。 

  1. 冷凍機システムの電源を切り、室温に達するまで待ちます
  2. クライオポンプが十分に低圧力に到達した後、再度冷却します

iBasicLineバージョンのCOOLVACクライオポンプは、排気速度、容量、冷却時間、内蔵コールドヘッド、最大スループット、第2ステージの内蔵温度センサー(Siダイオード)および対応する電流フィードスルー関するテクニカルデータについて、iSLバージョンのCOOLVACクライオポンプと同じです。

iBasicLineモデルには、COOL .DRIVE Iコントローラーの他、ヒーター、ゲージ、フォアバキュームバルブは含まれていません

利点をご確認ください。

Smart

The COOLVAC can be automatically controlled by combination with the compact COOL.DRIVE i controller and the MK5 controller of the COOLPAK I compressors (LINK). The Controller is easy to operate for a rapid, reliable and clean regeneration with the high performance, low vibration and energy efficient COOLPOWER cold heads (LINK) and Compressors (LINK) of the respective i series. With three operation modes - boost, eco or standard - for fast cool down, energy saving or standard operation via communication with the COOLPAK i compressor

Safe and Simple

Integrated in these cryo pumps are safety valves according to the EN 4126 standard. The maintenance of the COOLVAC vacuum pumps is equally fast and simple with no need to detach the pump from the system and low cost of ownership.

High Pumping Speed

Highly effective pumping speed for all gases and water vapor in particular the COOLVAC cryo pumps are a great choice. The cryo pumps from both the iBasicLine range as well as those from the iSmartLine range are available in suction capacity classes from 5000 l/s to 60000 l/s.