COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC

極低温真空ポンプ

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ガス溜め込み式ポンプ

COOLVAC真空ポンプは、ポンプ内の低温表面にガス状物質を低温凝縮させることで真空を発生させる冷凍機用クライオポンプです。超高真空の生成に使用されます。

COOLVACクライオポンプは、その排気原理により、すべてのガスに対して高効率な排気速度を備えています。COOLVAC真空ポンプは、10^-3 mbar～10^-11 mbarの圧力範囲で炭化水素を含まない超高真空を生成します。

COOLVACシリーズのすべてのクライオポンプには、すべての安全関連コンポーネントが装備されています。特に、安全バルブには排気ライン接続用の追加のDN 40 KFフランジが装備されています。

ポンプ本体は高品質なステンレス鋼製です。クライオポンプのCOOLVAC iシリーズに組み込まれているCOOLPOWER iコールドヘッドを作動させるには、COOLPAK iシリーズのヘリウムコンプレッサーが必要です。

iSmartLine（iSL）

iSmartLine（iSL）シリーズのクライオポンプは、両方のコールドヘッドステージで電気ヒーターを使用して、室温まで徐々に加熱されます。圧力、温度、および加熱電力は、COOL.DRIVE Iコントローラーによってモニタリングされます。

プロセス中、排気されたガスは次の順序で順次放出されます。

クライオパネルに吸着したガス（水素、ヘリウム、ネオンなど）
クライオパネルで凝縮されたガス（窒素、酸素、アルゴンなど）
バッフルおよび熱輻射シールドに凝縮されたガスおよび蒸気（水蒸気など）

ライボルトの再生プロセスの利点は、不活性で非反応性のガスの再生時に追加のパージガスが必要ないことです。

お客様の利点：

冷却性能の向上、省エネ、カスタマイズ運転を実現する3つの運転モードが用意されています
炭化水素フリーの高真空
大容量のアルゴンおよび水素
内蔵COOL.DRIVE i コントローラー 1) による完全自動再生
ポンプの分解や真空システムの再調整が不要なため、現場でのサービスが容易です
水と窒素の高い排気速度
電気再生システムを使用した高速、安全、効率的な再生が可能

iBasicLine（iBL）

iBasicLine（iBL）シリーズのクライオポンプの場合、再生は、次の2つのサブステップにより手動で行われます。

冷凍機システムの電源を切り、室温に達するまで待ちます
クライオポンプが十分に低圧力に到達した後、再度冷却します

iBasicLineバージョンのCOOLVACクライオポンプは、排気速度、容量、冷却時間、内蔵コールドヘッド、最大スループット、第2ステージの内蔵温度センサー（Siダイオード）および対応する電流フィードスルー関するテクニカルデータについて、iSLバージョンのCOOLVACクライオポンプと同じです。

iBasicLineモデルには、COOL .DRIVE Iコントローラーの他、ヒーター、ゲージ、フォアバキュームバルブは含まれていません。

利点をご確認ください。

スマート

COOLVACは、コンパクトなCOOL.DRIVEiコントローラとCOOLPAKIコンプレッサのMK5コントローラ（LINK）を組み合わせることで自動制御できます。コントローラは、高性能、低振動、エネルギー効率に優れたCOOLPOWERコールドヘッド（LINK）と各iシリーズのコンプレッサ（LINK）により、迅速で信頼性が高くクリーンな再生を実現します。ブースト、エコ、または標準の3つの動作モードにより、急速冷却、省エネ、または COOLPAK iコンプレッサとの通信による標準動作を実現します

安全でシンプル

これらのクライオポンプには、EN 4126規格に準拠した安全バルブが内蔵されています。 COOLVAC真空ポンプのメンテナンスは、システムからポンプを取り外す必要がなく、所有コストが低いため、同様に迅速かつ簡単です。

高い排気速度

すべてのガスと水蒸気、特にCOOLVACクライオポンプの排気速度は非常に効率的です。 iBasicLineシリーズとiSmartLineシリーズの両方のクライオポンプは、5000 l/s～60000 l/sの吸引能力クラスで使用できます

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