COOLVAC真空ポンプは、ポンプ内の低温表面にガス状物質を低温凝縮させることで真空を発生させる冷凍機用クライオポンプです。超高真空の生成に使用されます。
COOLVACクライオポンプは、その排気原理により、すべてのガスに対して高効率な排気速度を備えています。COOLVAC真空ポンプは、10-3 mbar~10-11 mbarの圧力範囲で炭化水素を含まない超高真空を生成します。
COOLVACシリーズのすべてのクライオポンプには、すべての安全関連コンポーネントが装備されています。特に、安全バルブには排気ライン接続用の追加のDN 40 KFフランジが装備されています。
ポンプ本体は高品質なステンレス鋼製です。クライオポンプのCOOLVAC iシリーズに組み込まれているCOOLPOWER iコールドヘッドを作動させるには、COOLPAK iシリーズのヘリウムコンプレッサーが必要です。
iSmartLine(iSL)シリーズのクライオポンプは、両方のコールドヘッドステージで電気ヒーターを使用して、室温まで徐々に加熱されます。圧力、温度、および加熱電力は、COOL.DRIVE Iコントローラーによってモニタリングされます。
プロセス中、排気されたガスは次の順序で順次放出されます。
ライボルトの再生プロセスの利点は、不活性で非反応性のガスの再生時に追加のパージガスが必要ないことです。
お客様の利点:
iBasicLine(iBL)シリーズのクライオポンプの場合、再生は、次の2つのサブステップにより手動で行われます。
iBasicLineバージョンのCOOLVACクライオポンプは、排気速度、容量、冷却時間、内蔵コールドヘッド、最大スループット、第2ステージの内蔵温度センサー(Siダイオード)および対応する電流フィードスルー関するテクニカルデータについて、iSLバージョンのCOOLVACクライオポンプと同じです。
iBasicLineモデルには、COOL .DRIVE Iコントローラーの他、ヒーター、ゲージ、フォアバキュームバルブは含まれていません。
The COOLVAC can be automatically controlled by combination with the compact COOL.DRIVE i controller and the MK5 controller of the COOLPAK I compressors (LINK). The Controller is easy to operate for a rapid, reliable and clean regeneration with the high performance, low vibration and energy efficient COOLPOWER cold heads (LINK) and Compressors (LINK) of the respective i series. With three operation modes - boost, eco or standard - for fast cool down, energy saving or standard operation via communication with the COOLPAK i compressor
Integrated in these cryo pumps are safety valves according to the EN 4126 standard. The maintenance of the COOLVAC vacuum pumps is equally fast and simple with no need to detach the pump from the system and low cost of ownership.
Highly effective pumping speed for all gases and water vapor in particular the COOLVAC cryo pumps are a great choice. The cryo pumps from both the iBasicLine range as well as those from the iSmartLine range are available in suction capacity classes from 5000 l/s to 60000 l/s.