LEYSPEC Cart for mobile residual gas analysis

LEYSPEC Cart

モバイルポンプステーション

独立した残留ガス分析に最適な排気ステーション

LEYSPEC Cartは、高性能残留ガス分析装置(RGA)LEYSPECとTURBOLAB排気システムを組み合わせた製品です。TURBOVAC iターボ分子真空ポンプとドライ圧縮SCROLLVAC plusスクロールポンプで構成されています。

車輪を装備しており、完全な移動性を備えています。

複数の製造ツールに必要なすべてのメリットを1つの機器で提供します。

マーケットとアプリケーション:

LEYSPEC Cartは、より高い真空圧力を必要とする多くのアプリケーションに対応するように開発されました。

このモバイル排気ステーションの最も重要なマーケットは、コーティング、スチール脱ガス、産業用乾燥です。ガス分析が必要なその他のマーケットでも、このポンプシステムが役立ちます。

モジュラープラットフォーム、容易な保守性

Leybold LEYSPEC Cartで、比類のないガス分析を体験してください。 

高性能排気ステーションTURBOLABと、LEYSPEC残留ガス分析装置を組み合わせることで、圧力に関係なく効率的かつ柔軟なガス分析が可能になります。 

さらに、精密供給UHVバルブを使用して、あらゆるプロセスに接続できます。残留ガス分析中のクリーンな運転を可能にするオールメタル構造により、ベークアウトが可能になりました。

これにより、必要なときにいつでもベークアウトを実行し、多くのプロセスやアプリケーションを完全にモバイル化できます。

主な特長:

ターボ分子ポンプTURBOVAC 250 iとドライバックポンプSCROLLVAC 7で構成される排気システムによる、迅速な測定準備

TURBOLAB排気ステーションによる統合プロセス制御

極めて容易で直感的なLEYSPECソフトウェアの操作により、長時間のトレーニングが不要

プロセスまたはチャンバーの任意なポイントでのモバイル残留ガス分析

常時可能なベークアウトにより、プロセスガスに完全に焦点を当てることができます

大気圧下でも実行可能な、圧力に依存しない残留ガス分析

LEYSPEC Carts

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