製品 サービス アプリケーション ブログとWiki ダウンロード 当社について キャリア ニュースとイベント

真空計校正システム

真空計およびセンサーの定期的な点検、調整、再校正を実施することでプロセスの信頼性を確保し、定期的な校正が必要となります。デバイスを初期値に設定することは、品質保証の重要な要素です。再現性と互換性、およびテストプロセスの品質に関する要件が高い場合は、特に校正済みのゲージが使用されます。既存の多くの圧力測定装置に明確な基準が必要な場合も校正が必須です。

ライボルトのCS校正システムなら、お客様は真空計自体の定義された必要な測定精度を確認および校正できます。ドイツの認定機関(DAkkS)の規格または国際規格に準拠することができますが、必要な測定精度はユーザーが定義する必要があります。

この場合、「校正」という用語は校正するゲージから得られた測定値と、いわゆる「基準ゲージまたはトランスファー規格」の比較を意味します。条件としては、両方のゲージをISO 3567規格に準拠して設計された同じ真空チャンバーに接続する必要があります。基準ゲージ自体(および圧力表示と接続ケーブル)は、少なくとも1年に1回は、トレース可能なトランスファー規格に対して校正する必要があります。

当社の基準ゲージは、ライボルトGmbHのDAkkS2)校正サービスによるPTB1)トランスファー規格との比較によって認定されます。

1) PTB - Physikalisch-Technische Bundesanstalt、ベルリン(ドイツ国立理工学研究所)

2) DAkkS - Deutsche Akkreditierungsstelle(ドイツ校正サービス)

1981年以来、あらゆるメーカーのゲージとセンサーを個別に校正して参りました。

校正プロセスには、DAkkSまたはファクトリーキャリブレーション証明書が発行されます。長期安定性が不十分な装置や校正に適さない測定原理の装置は校正できません。

校正は静的モードまたは動的モードで実行されます。

  • 静的校正とは、校正チャンバーがポンプシステムから分離され、目的の圧力値に達するまでガスが流入することを意味します。この方法では、クリーンな校正チャンバーと長い排気時間による低いガス放出率が必要です。
  • 動的校正では、チャンバー圧力はターボ分子ポンプ吸気口のガス注入バルブとスロットルバルブによって調整されます。吸気口のガスの量は、安定した圧力を設定するためにポンプされるガスの流量と手動でバランスを調整します。

CS 3

  • あらゆるメーカーの真空計と測定システムを校正できます
  • ISO 3567に準拠した設計
  • PTB-、DAkkS-、ファクトリーキャリブレーションによるトランスファー規格
  • 容易なDIN / ISO 9000認証
  • 信頼性が高く再現性のある測定
  • すばやい起動
  • ドライ圧縮式真空ポンプを使用した炭化水素フリーの測定システム
  • シンプルな操作
  • CE承認
Calibration system CS3 - half side left

CS3のベースユニットは、3つの校正ポートとドライ圧縮ターボ分子ポンプシステムTURBOLAB 90を備えたステンレス鋼校正チャンバー(ISO 3567に準拠した設計)で主に構成されています。圧力設定では、手動ガス注入バルブをバタフライバルブと組み合わせて使用し、吸引速度を調整します。全範囲におよぶ高真空ゲージが装備され、校正するセンサーの全圧力範囲とシステムの到達圧力が表示されます。この到達圧力が、ISO 3567に従い最小校正圧力の10%以上である必要があります。

CS 3には、ゲージ比較のために、2台または3台のリファレンストランスミッターCERAVAC CTR 100 N(高精度が必要な場合はCTR 101 N)、ディスプレイデバイスGRAPHIX THREE、および対応接続ケーブルが付属しています。これらはすべて、当社の校正ラボで、最新のDAkkS規格に沿って校正されています。

CS 7

  • 校正実施用にカスタマイズされた製品の範囲は、1000 mbar(Torr)から1 x 10-7 mbar(Torr)までです。
  • 通常、研究機関や校正ラボで使用されます。
  • 真空計の特性の点検
  • DAkkS(ドイツ連邦共和国の国内認定機関)などの国際規格に準拠した真空計の高精度の校正
  • 再現可能なパラメーターの確保
  • 簡単に操作できる校正システム
  • チャンバー、ターボ分子ポンプシステム、真空計、校正圧力に応じた追加コンポーネント
Vacuum Gauge Calibration System