残留ガス分析器

LEYSPEC

LEYSPEC残留ガス分析器（RGA）製品ファミリーにより、シンプルで直感的な操作が可能になります。

ボタンを押すと、主要なガスの分圧を表示できます。プロセスに追加のガスが含まれる場合は、予備のディスプレイチャンネルに割り当てることができます。

LEYSPECは、高いベークアウト温度を達成できるため、要求の厳しい高真空および超高真空アプリケーションでの使用に最適です。

動作原理

測定セルは、熱陰極電離真空計です。電子は高温のフィラメントから放出され、電気的バイアスによってソースに向けて加速されます。高速に移動する電子はガス分子と衝突し、電子を分解してイオン化します。正のガスイオンは負に負荷されたイオンコレクターに電流を供給します。イオン電流は圧力に比例します。イオンが多いほどイオン電流が高くなります。四重極アレイは4本のステンレス鋼ロッドで構成されています。すべてのロッドに直流および高周波電圧が印加されます。これにより、複雑な磁場が発生します。電圧を変化させることで、磁場が制御されます。

結果として生じる振動では、特定の質量のイオンのみが「飛んで」検出部に到達できます。

適切な質量電荷比（m/e）を持つイオンは、極を通る安定した3次元軌道で振動します。
誤ったm/eのイオンは、制御不能に振動し、ポール極に衝突します

イオンはイオンコレクターに到達し、フィルターを通過するイオンの相対的な量を示す出力電流を供給します。m/z比に対するイオン電流または分圧は、ユニットまたはソフトウェアに表示されます。

LEYSPEC RGAは、記載されている動作原理に基づいて、ガス組成を検索して表示することで、ガス純度を検証します。これにより、LEYSPECはガス汚染物質を特定し、プロセス性能と歩留まりを全体的に最適化するためのプロセスと機器の制御をさらに実行することができます。

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シンプルで直感的な操作を可能にするオールインワンデバイス

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LEYSPEC残留ガス分析器は高感度であるため、微量の汚染物質やプロセスガスを検出できます。製品シリーズには100、200、300 amuのソリューションがあります。過酷な環境下での操作用に、最大300℃のベークアウト温度が可能できます。

LEYSPECは、独自のソフトウェアと一体型コントローラーおよびディスプレイユニットを使用して直感的に操作できます。コンピュータに接続しなくても、簡単な残留ガス分析が可能です。ボタンを押すだけで主要なガスが表示され、予備のディスプレイを使用して追加のガスを表示できます。

これらは、高真空システムでの厳しい試験手順や残留ガス分析にも適しています。

LEYSPECのプレインストールされた機能（ヘリウムリークテスト、選択可能なガスの警告およびエラーレベル、始動または排気後の脱ガス機能など）により、この残留ガス分析装置は、あらゆるシステムに優れた付加機能を提供します。

LEYSPECカート

移動式残留分析器システム

LEYSPECカートは、完全に統合された差動ポンプシステムを搭載しており、最高の柔軟性と容易な取り扱いを実現します。

完全に独立したポンプシステムで、測定タスクの各種シリーズに簡単に適応でき、さまざまな圧力で迅速な運転準備と操作性を実現します。

当社のソリューション：

SCROLLVAC 7 plusおよびTURBOVAC 350 iを備えた独立ポンプシステム
一体型プロセスコントローラーにより、迅速かつ容易に操作できます
LEYSPEC RGA用の容易で直感的なソフトウェア
独立した可動式カートに完全に統合されています
大気圧までのさまざまな圧力レベルで柔軟な操作性のUHVニードルバルブ

特徴

コンパクトで容易

すべての製品には、操作が簡単で迅速な一体型ディスプレイと、高度な試験手順および残留ガス分析用のLEYSPECソフトウェアが付属しています。LEYSPEC製品シリーズは、コンパクトなサイズであらゆる方向に取り付け可能で、さまざまな組み込み状況に最適です。

LEYSPEC残留ガス分析器は直感的なインターフェースを備えているため、操作が非常に容易です。ボタンを押すと、主要なガスの部分的な圧力を表示できます。プロセスに追加のガスが含まれる場合は、予備のディスプレイチャンネルに割り当てることができます。

直感的なソフトウェア

インテリジェントで直感的なLEYSPECソフトウェアで、この製品が完成します。使いやすいインターフェースにより、シンプルな操作から複雑な分析まで、ユースケースの各種シリーズに対応できます。レシピを作成することは、容易なだけでなく、速くて便利です。

操作中に全圧が表示され、解析の目的でビューに合わせてさまざまなビューを選択できます。スキャンモード、トレンドモード、またはアナログモードを選択できます。

高感度

LEYSPEC製品ファミリーは、高感度で正確な残留ガス分析を実現します。これにより、非常に微量の汚染物質やプロセスガスを検出できます。

LEYSPECは、その組成を検索して表示することで、ガスの純度を検証します。このように、ガス汚染物質が特定され、プロセス性能と歩留まりの全体的な最適化のためのプロセスと機器の制御がさらに行われます。

柔軟性

新しいLEYSPECシリーズは、質量分析のあらゆる用途に最適なソリューションです。残留ガス分析に焦点を当てた製品シリーズは、プロセス要件に応じて100、200、または300 amuのソリューションを提供します。

高度な機能

プレインストールされたソフトウェア機能を使用すると、ヘリウムリークテストや、選択可能なガスの警告およびエラーレベルの設定など、多くの追加機能およびテスト手順を実行できます。プログラム可能な脱ガス機能は、始動後または大気への暴露後のシンプルなプロセス脱ガスのために実装されます。バックグラウンド抑制により、重要なピークに焦点を合わせることができます。

高いベークアウト

最大300℃の高いベークアウト温度を備えたLEYSPEC ULTRAは、高度な高真空および超高真空アプリケーションに最適です。LEYSPEC超範囲は非常に高いベークアウト温度を提供するので、過酷な環境でも信頼性の高いガス分析を実行できます。

LEYSPEC RGAは、非常に高感度で直感的なソフトウェアを組み合わせており、基本的なテスト手順と高度なテスト手順をすべて実行できます