Film sottili

Il film sottile è uno strato di materiale che varia da frazioni di un nanometro a diversi micrometri di spessore. La tecnologia a film sottili è migliorata negli ultimi decenni e richiede prodotti affidabili per ottenere la migliore qualità. Per i processi di rivestimento a film sottile, Leybold fornisce le migliori attrezzature per vuoto della categoria, che soddisfano le esigenze di questa applicazione con i performanti sistemi di pompaggio a secco DRYVAC / RUVAC.

Sistemi di pompaggio con pompe per compressione a secco

  • Elevata velocità di pompaggio per l'idrogeno
  • Resistenti alle particelle
  • Compatibilità elevata dei fluidi per i gas di processo
  • Monitoraggio integrato dei parametri di esercizio e controllo delle pompe Roots
  • Temperatura e flusso gas di spurgo regolabili
  • Parametri regolabili tramite Profibus