Oerlikon Leybold Vacuum propose des solutions optimisées pour la fabrication d’affichages à écran plat

Oerlikon Leybold Vacuum présente une large gamme de systèmes de pompes à vide et d’accessoires spécifiquement optimisés pour les processus de revêtement à couche mince tels que les utilisations d’affichages à écrans plats. À Semicon en Corée, 27. – 29. Janvier, Oerlikon Leybold Vacuum invite les clients à en savoir plus sur ces nouveaux systèmes DRYVAC innovants.

Notre mission consiste à offrir un rendement optimal au meilleur coût de propriété. Pour cela, il faut des mécanismes de pompage très efficaces associés à des options d'économie d'énergie telles que les modes d’exploitation.

Oerlikon Leybold Vacuum est leader dans le développement de solutions d'aspiration complètes pour toutes les applications de revêtement. L’expertise de la société est inégalée pour ce qui est de comprendre les exigences techniques et les besoins d'assistance de votre entreprise.

Le résultat est une gamme optimisée de composants standards offrant une conception compacte, des normes techniques extrêmement élevés et une fiabilité exceptionnelle. Les solutions d'aspiration compactes et intelligentes comprennent des combinaisons de pompes à vide poussé, de gavage/sèches, ainsi que des dispositifs de contrôle, si nécessaire.

Les systèmes standards basés sur les pompes à vis sèches DRYVAC associées à des compresseurs Roots de la gamme RUVAC WH sont la solution optimale pour les applications d’affichage à écran plat telles que les processus de sas rapide, de transfert et de déposition. Ils offrent les temps de pompage les plus rapides avec les vitesses de pompage les plus élevées de leur catégorie. Grâce à la normalisation, Oerlikon Leybold Vacuum confère une convivialité optimale au système proposé. Les principaux avantages pour le client sont des interfaces standards telles que les connexions électriques, les options de purge et/ou l’eau de refroidissement, associées à une maintenance facile et à une manipulation très pratique des pièces de rechange.

Ces systèmes sont excellents pour les processus majeurs suivants :

  • sas/transfert
  • pulvérisation de transistor TSPT/pulvérisation de filtre couleur FSPT/cellule
  • encapsulation OLED/évaporation/ …
  • transistor TFT-PECDV/encapsulation de couche mince TFE-PECDV
  • dispositif de revêtement photorésistant VCD