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La fiabilité du procédé est assurée par des contrôles, des réglages et des réétalonnages réguliers des jauges à vide et des capteurs de vide qui doivent être régulièrement étalonnés. Le réglage des appareils sur une valeur initiale est un élément important de l'assurance qualité. Les jauges étalonnées sont tout particulièrement utilisées lorsque des exigences élevées sont imposées en matière de reproductibilité et de compatibilité, ainsi que de qualité des procédés de test. En outre, si une référence claire est nécessaire pour de nombreux dispositifs de mesure de la pression existants, l'étalonnage est indispensable.
Les systèmes d'étalonnage CS de Leybold permettent aux clients de vérifier et d'étalonner eux-mêmes la précision de mesure définie et requise de leurs jauges à vide. Ils peuvent respecter les normes de l'organisme d'accréditation allemand (DAkkS) ou toute norme internationale, tandis que la précision de mesure requise doit être définie par les utilisateurs.
Dans ce contexte, le terme « étalonnage » désigne la comparaison des valeurs mesurées provenant de la jauge à étalonner et d'une « jauge de référence » ou d'un « étalon de transfert ». Pour cela, les deux jauges doivent être raccordées à la même chambre à vide, conçue conformément à la norme ISO 3567. La jauge de référence elle-même (ainsi que l'affichage de la pression et le câble de raccordement) doit être étalonnée par rapport à un étalon de transfert traçable, au moins une fois par an.
Nos jauges de référence seront certifiées par comparaison avec un étalon de transfert PTB1) par le service d'étalonnage DAkkS2) de Leybold GmbH.
1) PTB - Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin (Institut fédéral de physique et de technologie)
2) DAkkS - Deutsche Akkreditierungsstelle (Service d'étalonnage allemand)
Un certificat d'étalonnage DAkkS ou d'étalonnage d'usine est délivré pour le procédé d'étalonnage. Les appareils dont la stabilité à long terme est insuffisante ou dont les principes de mesure ne conviennent pas à l'étalonnage ne peuvent pas être étalonnés.
L'étalonnage peut être effectué en mode statique ou dynamique.
L'unité de base du système CS 3 se compose principalement d'une chambre d'étalonnage en acier inoxydable (conception conforme à la norme ISO 3567) avec trois ports d'étalonnage et d'un système de pompe turbomoléculaire à compression sèche TURBOLAB 90. Pour le réglage de la pression, une vanne de dosage de gaz manuelle est utilisée conjointement à une vanne papillon afin de limiter la vitesse d'aspiration. Une jauge à vide poussé est installée pour afficher la plage de pression complète des capteurs à étalonner ainsi que la pression finale du système. Conformément à la norme ISO 3567, cette pression finale doit être au moins égale à 10 % de la pression d'étalonnage minimale.
Pour comparer les jauges, le système CS 3 est fourni avec deux ou trois transmetteurs de référence CERAVAC CTR 100 N (ou CTR 101 N pour une précision accrue), un dispositif d'affichage GRAPHIX THREE et les câbles de raccordement correspondants. Tous ces éléments sont étalonnés dans notre propre laboratoire d'étalonnage, conformément aux dernières réglementations DAkkS.