Aplicações de ultra-alto vácuo
As condições de vácuo ultra-alto (UHV) são um pré-requisito para as pesquisas mais complexas conduzidas por laboratórios governamentais, universidades e indústria privada.
Laboratórios nacionais, grandes universidades globais de pesquisa e indústrias, como as de fabricação de instrumentos de defesa, aeroespaciais ou analíticos, utilizam uma ampla variedade de equipamentos de vácuo para atingir os níveis necessários de vácuo. Muitas dessas organizações contam com a Leybold para o fornecimento de bombas de vácuo, instrumentos e sistemas altamente específicos.
UHV é o regime de vácuo caracterizado por pressões inferiores a cerca de 10-9mbar (ou 10-7 Pa). Condições de vácuo ultra-alto são necessárias para reduzir a contaminação da superfície em muitas técnicas de análise de superfície. Por exemplo, espectroscopia de fotoelétrons de raios-X (XPS), espectroscopia de elétrons Auger (AES), espectrometria de massa de íons secundários (SIMS) ou microscopia de emissão de campo (FEM).
Técnicas de preparação e crescimento de filmes finos com requisitos rigorosos de pureza, como a epitaxia de feixe molecular (MBE) e a deposição de camada atômica (ALD), também dependem das condições de UHV.
Em aplicações de pesquisa, como aceleradores de partículas ou detectores de ondas gravitacionais, as condições de vácuo ultra-alto ajudarão principalmente a reduzir as interações entre feixe e gás e a limitar perturbações indesejadas do ambiente externo. Esses níveis de vácuo exigem o uso de materiais especiais e princípios de bombeamento.
Oferecemos uma ampla gama de soluções avançadas de vácuo para uso em ambiciosas aplicações de UHV. Nossos componentes, soluções de sistema e serviços pós-venda mostraram seus benefícios nos principais centros de pesquisa em todo o mundo.
Plataformas M-UHV
Plataformas modulares de experimentação de vácuo ultra-alto
As opções baseadas em automação são
100 | 200 | 300 | 400
Pressão máxima
< 5 x 10-10 mbar
- Variação da temperatura do substrato de 100K - 1000K
- Medição precisa da temperatura
- Conceito modular juntamente com montagem fácil de sistemas de cluster em instalações de estação de transferência de UHV
- Configuração pronta para operação para uma ampla variedade de ferramentas de experimentação de UHV
- Incorpore suportes de amostra estilo bandeira
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- Vantagens
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