M-UHV Systeme

M-UHV Systeme

Modular, schlüsselfertig, vielseitig

Analyseverfahren und Experimente benötigen ein Ultra-Hoch-Vakuum-System, um die Struktur von Oberflächen präzise zu untersuchen. Damit sich die Anwender auf ihre Experimente und Untersuchungen konzentrieren können, bauen sie auf die Systeme von Leybold. Weil sie eine punktgenaue Vakuumperformance bei geringem Wartungsaufwand garantieren. Unsere M-UHV Systeme sind modulare, schlüsselfertige Plattformen, die dieses Anforderungsprofil erfüllen und sich ideal für solche Anwendungen eignen.

Typische Forschungsanwendungen für M-UHV Systeme:

  • Oberflächenanalyse
  • Katalyse
  • Metallurgie
  • Photovoltaik
  • Halbleiter
  • Energie
  • Kombinatorische Materialforschung

Das M-UHV System ist eine hervorragende Plattform zur Integration zahlreicher UHV-Analysetechniken:  

  • Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS)
  • Auger-Elektronenspektroskopie (AES)
  • Energieverlustspektrometrie (ELS)
  • UV-Photoelektronenspektroskopie (UPS)
  • Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
  • Auger-Rasterelektronenmikroskopie (SAM)
  • Temperatur-Programmierte Desorption (TPD) / Temperatur-Programmierte-Reaktionsspektroskopie (TPRS) / Thermal-Desorption-Spectroskopie (TDS)
  • Reflection high-energy electron diffraction (RHEED)
  • Ionenstreuung-Spektroskopie (ISS)
  • Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS)
  • Rastertunnelmikroskopie (STM)
  • Hochauflösende Elektronenverlustspektroskopie (HREELS)
  • …..und viele mehr