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Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

Turbomolekularpumpe mit magnetischer Rotoraufhängung

Genauigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit – alles in einem!

Die Pumpen der Serie TURBOVAC MAGiNTEGRA sind magnetgelagert: Eine starke und kompakte Produktlinie für Analyse-, Forschungs- und anspruchsvolle industrielle Beschichtungsanwendungen.

  • Hohes Saugvermögen und hoher Gasdurchsatz für schnellere Abpumpzeiten zur Verbesserung der Prozess-Zykluszeiten. 
  • Aktives 5-Achsen-Magnetlager und Antriebssystem für hohe Zuverlässigkeit und sicheren, effizienten Betrieb.
  • Konverter und Stromversorgung sind voll integriert: Eine herkömmliche Rack-Steuerung und Verbindungskabel sind nicht mehr erforderlich.

Aus Sicherheitsgründen schaltet das MAGiNTEGRA-Antriebssystem bei Stromausfall in einen Generatormodus, um die Rotoraufhängung durch langsame Verzögerung beizubehalten. Wenn wieder Strom vorhanden ist, beginnt die Pumpe automatisch, auf die normale Drehzahl zu beschleunigen.

Die MAGiNTEGRA-Pumpe verfügt über die Schutzart IP54 und ist somit eine ideale Pumpe für raue industrielle Anwendungsumgebungen.

Diese magnetischen Turbopumpen werden im Druckbereich von 10-1 bis 10-10 mbar (0,75 x 10-1 bis 0,75 x 10-10 Torr) eingesetzt. Das Saugvermögen für Luft reicht von 300 bis 2.200 l/s.

Die TURBOVAC MAGiNTEGRA-Pumpen sind größtenteils in Bereichen installiert, die Folgendes erfordern:

  • geräusch- und schwingungsfreien Betrieb, 
  • frei von Kohlenwasserstoffen,
  • lange wartungsfreie Intervalle.

Flexibel

Diese Hochvakuumpumpen haben eine hohe Leistung in jeder Ausrichtung und können einfach in Ihr System integriert werden.

Die Turbomolekularpumpen der Serie MAGiNTEGRA sind eine platzsparende Option und eignen sich zur Erzeugung eines sauberen Hoch- und Ultrahochvakuums.

Ihr flexibles Design mit einer Steuerung an der Seite oder an der Unterseite und ihre innovative und modulare industrielle Kommunikationslösung vereinfachen die Systemintegration.

Geeignet für industrielle Standardanwendungen wie PVD, Display, optische und architektonische Glasbeschichtung.

Zuverlässig

Die TURBOVAC MAGiNTEGRA-Pumpe verfügt über ein hohes Saugvermögen und hohe Verdichtungsverhältnisse für alle Gase.

Sie ist unempfindlich gegenüber:

  • Prozesspartikeln und Staub
  • Schockentlüftung.

Es handelt sich um kohlenwasserstofffreie Pumpen, um saubere Hoch- und Ultrahochvakuumbedingungen zu gewährleisten.

Kombinierte und klassische Turbomotorstufen sowie ein Frequenzwandler und die Stromversorgung sind integriert.

All dies und die extrem geringen Schwingungen sorgen für eine hohe Betriebssicherheit.

Geringe Kosten und Wartungszeiten

Wartungsfrei in den meisten Anwendungen mit Überwachungs- und Selbstschutzfunktionen.

High Vacuum Pumps

PDF    14.3 MB

Product Overview 2021

PDF    11.6 MB

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