Produkte Service Downloads Über uns Karriere News & Events
COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC

Kryovakuumpumpen

Gaseinschlusspumpen

COOLVAC-Vakuumpumpen sind Kältepumpen, die ein Vakuum erzeugen, wenn gasförmige Stoffe durch Kryokondensation an die kalten Oberflächen innerhalb der Pumpe gebunden werden. Sie werden zur Erzeugung eines Ultrahochvakuums verwendet.

Aufgrund des Saugprinzips haben COOLVAC Kryopumpen ein hohes effektives Saugvermögen für alle Gase. COOLVAC-Vakuumpumpen erzeugen ein kohlenwasserstofffreies Ultrahochvakuum im Druckbereich von 10-3 bis 10-11 mbar.

Kryopumpen der COOLVAC-Serie sind mit allen sicherheitsrelevanten Komponenten ausgestattet, insbesondere mit einem Sicherheitsventil mit einem zusätzlichen DN 40 KF-Flansch zum Anschluss einer Abluftleitung.

Das Pumpengehäuse besteht aus hochwertigem Edelstahl. Heliumkompressoren der COOLPAK i-Serie sind für den Betrieb der COOLPOWER i-Kaltköpfe erforderlich, die in die COOLVAC i-Kryopumpen integriert sind.

iSmartLine (iSL)

Die Kryopumpen der iSmartLine (iSL)-Serie werden mithilfe elektrischer Heizungen in beiden Kaltkopfstufen schrittweise auf Raumtemperatur erwärmt. Druck, Temperatur und Heizleistung werden von der COOL.DRIVE i-Steuerung überwacht.

Während des Prozesses werden die Fördergase nacheinander in folgender Reihenfolge freigesetzt:

  1. An Kryoplatten adsorbierte Gase (z. B. Wasserstoff, Helium, Neon),
  2. An Kryoplatten kondensierte Gase (z. B. Stickstoff, Sauerstoff, Argon),
  3. Gase und Dämpfe, die bis zum Leitblech und zum thermischen Strahlenschutz kondensiert sind (z. B. Wasserdampf).

Der Vorteil des oben beschriebenen Regenerationsprozesses von Leybold besteht darin, dass während der Regeneration inerter, nicht reaktiver Gase kein zusätzliches Spülgas benötigt wird.

Ihre Vorteile:

  • 3 Betriebsmodi für eine höhere Kühlleistung, Energieeinsparung und kundenspezifischer Betrieb
  • Kohlenwasserstofffreies Hochvakuum
  • Hohe Kapazität für Argon und Wasserstoff
  • Vollautomatische Regeneration durch integrierte COOL.DRIVE i-Steuerung 1)
  • Einfache Wartung vor Ort ohne Demontage der Pumpe und Überholung des Vakuumsystems
  • Hohes Saugvermögen für Wasser und Stickstoff
  • Schnelle, sichere und effiziente Regeneration mit dem elektrischen Regenerationssystem

iBasicLine (iBL)

Bei Kryopumpen der iBasicLine (iBL)-Serie erfolgt die Regeneration manuell in zwei Teilschritten: 

  1. Kühlsystem ausschalten und warten bis Raumtemperatur erreicht ist
  2. Nach Erreichen eines ausreichend niedrigen Drucks in der Kryopumpe wieder abkühlen

Die COOLVAC-Kryopumpen der iBasicLine-Version sind identisch mit den COOLVAC-Kryopumpen der iSL-Version in Bezug auf die technischen Daten für Saugvermögen, Kapazität, Abkühlzeit, integrierte Kaltköpfe, maximalen Durchsatz, integrierte Temperatursensoren für die zweite Stufe (Si-Diode) und die entsprechenden Stromdurchführungen.

Die iBasicLine-Modelle umfassen nicht die COOL.DRIVE i-Steuerung, Heizungen, Anzeigen und das Vorvakuumventil.

Entdecken Sie die Vorteile!

Smart

The COOLVAC can be automatically controlled by combination with the compact COOL.DRIVE i controller and the MK5 controller of the COOLPAK I compressors (LINK). The Controller is easy to operate for a rapid, reliable and clean regeneration with the high performance, low vibration and energy efficient COOLPOWER cold heads (LINK) and Compressors (LINK) of the respective i series. With three operation modes - boost, eco or standard - for fast cool down, energy saving or standard operation via communication with the COOLPAK i compressor

Safe and Simple

Integrated in these cryo pumps are safety valves according to the EN 4126 standard. The maintenance of the COOLVAC vacuum pumps is equally fast and simple with no need to detach the pump from the system and low cost of ownership.

High Pumping Speed

Highly effective pumping speed for all gases and water vapor in particular the COOLVAC cryo pumps are a great choice. The cryo pumps from both the iBasicLine range as well as those from the iSmartLine range are available in suction capacity classes from 5000 l/s to 60000 l/s.

Contact Leybold

Sprechen wir darüber

Bei uns steht Kundennähe im Fokus. Wenden Sie sich an uns, wenn Sie Fragen haben.