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Kryopumpen, die gasbindenden Vakuumpumpen.

 Unsere Pumpen decken einen Druckbereich von 10-3 bis ≤ 10-11 mbar ab.

Das Funktionsprinzip besteht darin, dass gasförmige Stoffe durch Kryokondensation, Kryosorption oder das Kühlfallenprinzip an die kalten Oberflächen innerhalb der Pumpe gebunden werden.

Kryopumpen haben auf der Vakuumseite keine mechanisch beweglichen, öl- oder fettgeschmierten Teile. 

Um ein Hoch- oder Ultrahochvakuum zu erzeugen, müssen die kalten Oberflächen/Kryoplatten auf eine ausreichend niedrige Temperatur gekühlt werden. Die Kühlung erfolgt durch die bewährten, äußerst zuverlässigen ein- oder zweistufigen Kühlsysteme der COOLPOWER i-Baureihe von Leybold (Gifford/McMahon-Prinzip). 

Funktionen

Das Saugvermögen für alle Gase und Luft ist sehr effektiv. Dies gilt umso mehr für Wasser (H2O) und Wasserstoff (H2). Die Kühlleistung und die Abkühlung können durch die variable Motordrehzahl des Kaltkopfes und des Kompressors erhöht werden.

Mit zuverlässigen COOLPOWER i-Kaltköpfen und COOLPAK i-Kompressoren. 

Kryopumpen sind unempfindlich gegenüber mechanischen Störungen durch Partikel aus dem Prozess oder externe Schwingungen. 

Leybold-Kryopumpen sind dank automatischer Steuerung und Überwachung der iSmartLine (ISL) mit COOL.DRIVE i oder CRYOVISION einfach zu bedienen. 

Zudem sind diese Pumpen einfach zu warten. Die Teile können vor Ort ausgetauscht werden, ohne die Pumpe aus dem System zu entfernen. 

Niedrige Betriebskosten, insbesondere bei höheren Saugvermögen

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