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Kalibriersysteme für Vakuum-Messsensoren

Prozesssicherheit ist möglich, wenn Vakuummessgeräte und -sensoren regelmäßig überprüft, justiert und nachkalibriert werden, denn sie müssen in regelmäßigen Abständen kalibriert werden. Das Einstellen der Geräte auf einen Anfangswert ist ein wichtiger Bestandteil der Qualitätssicherung. Kalibrierte Messgeräte werden insbesondere dort eingesetzt, wo hohe Anforderungen an die Reproduzierbarkeit und Kompatibilität sowie an die Qualität der Prüfprozesse gestellt werden. Auch wenn für viele vorhandene Druckmessgeräte eine eindeutige Referenz benötigt wird, ist die Kalibrierung unerlässlich.

Mit den CS-Kalibriersystemen von Leybold können Kunden die festgelegte und erforderliche Messgenauigkeit ihrer Vakuum-Messsensoren selbst überprüfen und kalibrieren. Dies kann gemäß den Normen der deutschen Akkreditierungsstelle (DAkkS) oder einer anderen internationalen Norm erfolgen; die erforderliche Messgenauigkeit hingegen muss vom Anwender festgelegt werden.

In diesem Zusammenhang steht der Begriff „Kalibrierung“ für den Vergleich der Messwerte des zu kalibrierenden Messgeräts mit einem sogenannten „Referenzmessgerät oder Übertragungsstandard“. Voraussetzung ist, dass beide Messgeräte an dieselbe Vakuumkammer angeschlossen werden, die gemäß den ISO 3567-Vorschriften konzipiert wurde. Das Referenzmessgerät selbst (zusammen mit der Druckanzeige und dem Anschlusskabel) muss mindestens einmal jährlich anhand eines nachvollziehbaren Übertragungsstandards kalibriert werden.

Unsere Referenzsensoren werden vom DAkkS2)-Kalibrierservice der Leybold GmbH durch Vergleich mit einem Übertragungsstandard der PTB1) zertifiziert.

1) PTB – Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin

2) DAkkS – Deutsche Akkreditierungsstelle

Seit 1981 kalibrieren wir unabhängig Messsensoren sämtlicher Fabrikate für unsere Kunden.

Für den Kalibrierprozess wird ein DAkkS- oder Werkskalibrierzertifikat ausgestellt. Für Geräte mit unzureichender Langzeitstabilität oder Messprinzipien, die für die Kalibrierung ungeeignet sind, kann keine Kalibrierung durchgeführt werden.

Die Kalibrierung kann im statischen oder dynamischen Modus durchgeführt werden.

  • Statisch bedeutet, dass die Kalibrierkammer vom Pumpensystem getrennt ist und bis zum Erreichen des gewünschten Druckwerts Gas zugeführt wird. Diese Methode erfordert eine geringe Ausgasungsrate, die durch eine saubere Kalibrierkammer und eine lange Pumpzeit erreicht wird.
  • Bei der dynamischen Kalibrierung wird der Kammerdruck über ein Gasdosierventil und ein Drosselventil am Einlass der Turbomolekularpumpe eingestellt. Die Einlassgasmenge wird manuell mit dem Fördergasstrom ausgeglichen, um einen stabilen Druck einzustellen.

CS 3

  • Vakuum-Messsensoren und Messsysteme aller Fabrikate können kalibriert werden
  • Entwickelt gemäß ISO 3567
  • Übertragungsstandards mit PTB-, DAkkS- oder Werkszertifikat
  • Einfachere Zulassung nach DIN/ISO 9000
  • Zuverlässige und reproduzierbare Messungen
  • Schnelle Inbetriebnahme
  • Das Messsystem ist dank des Einsatzes von trockenverdichtenden Vakuumpumpen frei von Kohlenwasserstoffen
  • Einfache Bedienung
  • CE-Zulassung
Calibration system CS3 - half side left

Die Basiseinheit des CS 3 besteht im Wesentlichen aus einer Edelstahl-Kalibrierkammer (Bauweise nach ISO 3567) mit drei Kalibrieranschlüssen und dem trockenverdichtenden Turbomolekularpumpensystem TURBOLAB 90. Zur Druckeinstellung wird ein manuelles Gasdosierventil in Kombination mit einer Drosselklappe zur Drosselung des Ansaugvermögens verwendet. Ein Hochvakuum-Messsensor mit vollem Messbereich zeigt den gesamten Druckbereich der zu kalibrierenden Sensoren sowie den Enddruck des Systems an. Gemäß ISO 3567 muss dieser Enddruck mindestens 10 % des Minimumkalibrierdrucks ausmachen.

Zum Vergleich der Sensoren wird das CS 3 mit zwei oder drei Referenzgebern der Baureihe CERAVAC CTR 100 N (oder CTR 101 N für mehr Genauigkeit), einem Anzeigegerät der Baureihe GRAPHIX 3 und den entsprechenden Anschlusskabeln geliefert. Diese werden alle in unserem eigenen Kalibrierlabor gemäß den aktuellen DAkkS-Vorschriften kalibriert.

CS 7

  • Kundenspezifisches Produkt für den Einsatz in Kalibrierbereichen von 1000 mbar (Torr) bis hin zu 1 x 10-7 mbar (Torr).
  • Wird in der Regel in Forschungseinrichtungen oder Kalibrierlaboren verwendet.
  • Prüfen der Kenndaten von Vakuum-Messsensoren
  • Exakte Kalibrierung von Vakuum-Messsensoren gemäß der DAkkS (nationale Akkreditierungsstelle für die Bundesrepublik Deutschland) oder anderen internationalen Normen
  • Sicherstellung reproduzierbarer Parameter
  • Einfach zu bedienende Kalibriersysteme
  • Kammer, Turbomolekularpumpensystem, Vakuum-Messsensoren und zusätzliche Komponenten je nach Kalibrierdruck
Vacuum Gauge Calibration System
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