Residual gas analyzers

LEYSPEC

Die Restgasanalysatoren (RGA) der Produktreihe LEYSPEC ermöglichen eine einfache und intuitive Bedienung.

Mit einem Tastendruck können die Partialdrücke von wichtigen Standardgasen angezeigt und, wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, dieses dem erweiterten Anzeigekanal zugeordnet werden.

Aufgrund der hohen Ausheiztemperaturen ist der LEYSPEC ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.

Arbeitsprinzip

Bei der Messzelle handelt es sich um ein Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter. Die von den Glühdrähten emittierten Elektronen beschleunigen aufgrund einer elektrischen Vorspannung in Richtung der Quelle. Die sich schnell bewegenden Elektronen kollidieren mit den Gasmolekülen, wodurch die Elektronen ionisiert werden. Positive Gasionen geben ihren Strom an den negativ geladenen Ionensammler ab. Der Ionenstrom ist proportional zum Druck. Je mehr Ionen vorhanden sind, desto höher ist der Ionenstrom. Die Quadrupol-Anordnung besteht aus vier Edelstahlstäben. An allen Stäben werden ein Gleichstrom und eine Hochfrequenzspannung angelegt. Dadurch entsteht ein komplexes Magnetfeld. Das Magnetfeld wird durch Variieren der Spannung gesteuert.

Die resultierende Schwingung lässt nur Ionen einer bestimmten Masse „durchfliegen“ und den Detektorteil erreichen:

Ionen mit einem angemessenen Masse-zu-Ladung-Verhältnis (m/e) oszillieren in einer stabilen dreidimensionalen Bahn durch die Stäbe.
Ionen mit falschem m/e schwingen außer Kontrolle und kollidieren mit den Polen.

Die Ionen erreichen den Ionensammler und liefern einen Ausgangsstrom, der ein Maß für die relative Menge der durch den Filter gelangten Ionen ist.Auf dem Gerät oder in der Software wird schließlich der Ionenstrom oder Partialdruck gegen das m/z-Verhältnis angezeigt.

Auf der Grundlage des beschriebenen Funktionsprinzips überprüft der RGA LEYSPEC die Gasreinheit, indem er die Gaszusammensetzung ermittelt und anzeigt. So kann der LEYSPEC Gasverunreinigungen identifizieren und weitere Prozess- und Anlagensteuervorgänge durchführen, um die Prozessleistung und den Ertrag insgesamt zu optimieren.

All-in-One-Gerät für einfache und intuitive Bedienung

Aufgrund seiner hohen Empfindlichkeit ermöglicht der Restgasanalysator LEYSPEC die Erkennung von sehr kleinen Spuren von Verunreinigungen oder Prozessgasen. Das Produktsortiment umfasst Lösungen für 100, 200 und 300 amu. Eine Ausheiztemperatur von bis zu 300 °C für den Einsatz in rauen Umgebungen ist möglich.

Der LEYSPEC lässt sich mit einer eigenen Software und einer integrierten Steuer- und Anzeigeeinheit intuitiv bedienen. Eine einfache Restgasanalyse ist ohne Anschluss an einen Computer möglich. Wichtige Gase können auf Knopfdruck angezeigt werden, und es steht ein erweitertes Display zur Verfügung, damit zusätzliche Gase angezeigt werden können.

Er eignet sich auch für anspruchsvolle Prüfverfahren und Restgasanalysen in Hochvakuumsystemen.

Mit den vorinstallierten Funktionen des LEYSPEC, wie Helium-Leckprüfung, Warnungen und Fehlerstufen für wählbare Gase sowie eine Entgasungsfunktion nach dem Start oder Entlüften, ist dieser Restgasanalysator eine großartige Ergänzung für jedes System.

LEYSPEC Cart

Das mobile Restgasanalysesystem

Der LEYSPEC Cart verfügt über ein vollständig integriertes Differenzialpumpensystem für maximale Flexibilität und einfache Handhabung.

Es handelt sich um ein völlig unabhängiges Pumpensystem, das sich leicht an eine Vielzahl von Messaufgaben anpassen lässt und bei verschiedenen Drücken schnell betriebsbereit und bedienbar ist.

Unsere Lösungen:

Unabhängiges Pumpensystem mit SCROLLVAC 7 plus und TURBOVAC 350 i
Integrierte Prozesssteuerung für schnelle und einfache Bedienung
Einfache und intuitive Software für den RGA LEYSPEC
Vollständig in einen unabhängig beweglichen Wagen integriert
UHV-Nadelventil für flexiblen Betrieb bei verschiedenen Drücken bis Atmosphärendruck

Merkmale

Kompakt und leicht

Alle Produkte verfügen über ein integriertes Display für eine einfache und schnelle Bedienung sowie die LEYSPEC-Software für anspruchsvolle Prüfverfahren und die Restgasanalyse. Die LEYSPEC-Produktreihe ist kompakt und in jeder Ausrichtung montierbar sowie perfekt für verschiedene Einbausituationen geeignet.

Dank der intuitiven Benutzeroberfläche ist der Restgasanalysator LEYSPEC sehr einfach zu bedienen. Mit einem Tastendruck können Sie die Partialdrücke von Schlüsselgasen anzeigen und, wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, dieses dem erweiterten Anzeigekanal zuordnen.

Intuitive Software

Die intelligente und intuitive LEYSPEC-Software ergänzt das Angebot. Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungsbereichen, von einfacher Verwendung bis hin zu komplexen Analysen. Die Erstellung von Rezepten ist so einfach, wie sie sein sollte: schnell und bequem.

Während des Betriebs wird der Gesamtdruck angezeigt, und es können verschiedene Ansichten ausgewählt werden, um die Anzeige für den Zweck der Analyse anzupassen. Wählen Sie zwischen Scanmodus, Trendmodus oder Analogmodus.

Hohe Empfindlichkeit

Die LEYSPEC-Produktfamilie bietet eine sehr hohe Empfindlichkeit für eine genaue Restgasanalyse. Dadurch können auch sehr kleine Spuren von Verunreinigungen oder Prozessgasen erkannt werden.

Der LEYSPEC überprüft die Gasreinheit, indem er die Zusammensetzung ermittelt und anzeigt. Auf diese Weise werden Gasverunreinigungen identifiziert und weitere Prozess- und Ausrüstungssteuerungsvorgänge zur Optimierung von Prozessleistung und Ertrag durchgeführt.

Flexibel

Die neue LEYSPEC-Baureihe ist die perfekte Lösung für jede Anwendung in der Massenspektrometrie. Mit Fokus auf die Restgasanalyse bietet die Produktpalette Lösungen für 100, 200 oder 300 amu – je nach Prozessanforderungen.

Erweiterte Funktionen

Vorinstallierte Softwarefunktionen ermöglichen viele zusätzliche Funktionen und Prüfverfahren wie z. B. eine Helium-Lecksuche oder die Einstellung von Warnungen und Fehlerstufen für auswählbare Gase. Für die einfache Prozessentgasung nach dem Start oder der Exposition gegenüber der Atmosphäre ist eine programmierbare Entgasungsfunktion implementiert. Die Hintergrundunterdrückung ermöglicht die Fokussierung auf die wichtigen Spitzenwerte.

Hohes Ausheizen

Mit seinen hohen Ausheiztemperaturen von bis zu 300 °C ist der LEYSPEC Ultra perfekt für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen geeignet. Die Reihe LEYSPEC Ultra bietet eine sehr hohe Ausheiztemperatur, sodass selbst in rauen Umgebungen eine zuverlässige Gasanalyse durchgeführt werden kann.

Der RGA LEYSPEC bietet eine sehr hohe Empfindlichkeit in Kombination mit einer intuitiven Software, die alle grundlegenden und erweiterten Prüfverfahren ermöglicht