DIJ
油擴散幫浦
高真空泵浦，具備高氣體輸送量和抽氣速度
Leybold DIJ 系列的油擴散泵浦為高真空泵浦 (<10-2 mbar)，採用具創新加熱器系統、特殊本體結構及五段式噴嘴系統的先進設計，可加快製程腔體的泵浦抽氣速度、降低能源消耗並減少碳排放量。
DIJ 系列提供 < 10-2 mbar 範圍的較佳氣體輸送量和穩定高真空壓力。在 < 5 x 10-1 至 10-7 mbar 操作範圍，泵浦抽氣速度範圍為 3,000 l/s 至 33,000 l/s。
DIJ 具備先進的全新加熱概念、強大的五段式噴嘴系統、可變法蘭連接、多種電氣連接選配，包括高效率能源控制器 (EEC)，且配備齊全，具有前線擋板和冷帽擋板。DIJ 五段式系統設計提供優異的性能。高抽氣速度的四個擴散泵浦階段，以及一個在 <10-2 mbar 的壓力下提供高氣體輸送量，並提供高前段真空穩定性的噴射泵階段。多種 EEC 版本可提供額外增加的能源效率，能進一步節省能源並降低碳排放量。
Leybold DIJ 油擴散泵浦不太需要維護 (旋轉零件不會造成磨損)，且操作容易。DIJ 系列採用創新且高節能的結構，令人耳目一新。
使用者優勢
關鍵事實
抽氣速度 3,000 至 33,000 l/s
操作範圍 < 10-1 至 10-7 mbar
壓力範圍 < 10-3 mbar 的最佳抽氣速度
DIJ 系列提供
- 穩定的高真空
- 高抽氣速度
- 高氣體輸送量
- 安全且經濟實惠的設計
- 符合 CE 標準的電子產品
- 操作簡易
- 易於維護的設計，可快速輕鬆地更換加熱元件
- 提供多種配件
- 全球通用的彈性電線佈線
- 創新能源效率控制 (EEC)
DIJ 效益概覽
如此一來，DIJ 系列提供的多種有益功能，皆可完美整合至您的應用中。
- 創新加熱概念
- 五段式噴嘴系統
- 不同法蘭 (ANSI/ISO)
- 冷帽擋板
- 能源效率控制 (EEC)
創新加熱概念
獨特的創新加熱概念，運用具有大型熱交換表面的先進加熱器匣，將能源傳輸至機油中，以達到最佳化。有效的溫度監控可防止系統過熱。絕緣加熱器區可確保能源損失降至最低。
- 熱器與機油具有最小應力與長效使用壽命
- 加快加熱時間
- 法蘭加熱器，易於交換
五段式噴嘴系統
DIJ 泵浦配備全新的五段式噴嘴系統。四段式泵浦能保證在低壓力下提供高速抽氣，並在低範圍下造成高真空。噴射泵階段可產生高前段真空穩定性，和最佳化氣體輸送量。
- 高氣體輸送量與抽氣速度
- 整合式冷帽擋板，可將機油回流降至最低
不同法蘭 (ANSI/ISO)
選擇法蘭版本以改善連接能力
- ANSI/英吋法蘭 (O 形環密封)
- ISO-F 或 ISO-K 法蘭 (密封定心 O 形環)
冷帽擋板與前段真空擋板
為了避免液體流回真空室，DIJ 系列泵浦配備了經製程證實的冷帽擋板，和最佳化的前段真空擋板。
- 創新的全新前線擋板可減少機油損耗
- 更好的製程參數
- 減少機油回流
能源效率控制
節省高達 30% 的能源，且泵浦效能不打折扣
油擴散泵浦需要特定的最低油溫以進行操作。如果沒有控制器，則會持續使用 100% 已安裝的加熱功率來加熱機油。Leybold 用於擴散泵浦的創新高效率能源控制器可將功耗降低多達 30%，因為在泵浦達到其操作溫度後供應的功率會顯著降低。在較低溫度下使用待機模式，更可進一步節省成本。
- 提升能源效率
- 增加機油與加熱匣的運作時間
- 優越的操作便利性和使用簡易性
- 簡單的視覺化參數監控
- USB 介面與乙太網路連線
- 技術資訊
- 文件
- 應用
- 線上商店
| DIJ 10 | DIJ 320 | DIJ 16 | DIJ 500 | DIJ 20 | DIJ 630 | DIJ 32 | DIJ 800 | DIJ 35 | DIJ 1000 | ||
| 高真空 | 10'' ANSI | 320 ISO-K | 16'' ANSI | 500 ISO-K | 20'' ANSI | 630 ISO-K | 32'' ANSI | 800 ISO-F | 35'' ANSI | 1000 ISO-F | |
| 前級真空連接口 | 2'' ANSI | 63 ISO-K | 3'' ANSI | 100 ISO-K | 4'' ANSI | 160 ISO-K | 6'' ANSI | 200 ISO-K | 6'' ANSI | 200 ISO-K | |
| 下列項目的幫浦抽氣速度 | |||||||||||
空氣 < 8 x 10-4mbar |
l/s | 3000 | 6800 | 10800 | 21000 | 33000 | |||||
氬氣 < 1 x 10-4 mbar |
l/s | 2750 | 6350 | 9500 | 18000 | 26000 | |||||
| 操作範圍 | mbar | < 10-1 - 10-7 | < 10-1 - 10-7 | < 10-1 - 10-7 | < 10-1 - 10-6 | < 10-1 - 10-6 | |||||
| 總極限真空壓力 | mbar | < 5 · 10-7 | < 5 · 10-7 | < 5 · 10-7 | < 1 · 10-6 | < 1 · 10-6 | |||||
| 主電源電壓 | 3 ~ 400V /N/PE | 3 ~ 400V /N/PE | 3 ~ 400V /N/PE | 3 ~ 400V /N/PE | 3 ~ 400V /N/PE | ||||||
| 視機型而定，50/60Hz | 3 ~ 460V /N/PE | 3 ~ 460V /N/PE | 3 ~ 460V /N/PE | 3 ~ 460V /N/PE | 3 ~ 460V /N/PE | ||||||
| 加熱功率 | kW | 3.6 | 7.2 | 10.8 | 21.5 | 21.5 | |||||
| 約略重量 | 公斤 | 95 | 152 | 230 | 570 | 610 | |||||
DIJ 系列的油擴散泵浦非常適合工業應用作業：
- 真空鍍膜
- 冶煉
- 真空爐
- 真空乾燥
- 太空模擬
- 研究與開發
- 機械工程
