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ターボ分子真空ポンプ

クリーンな高真空または超高真空が必要なアプリケーションに適しています

機械式、ハイブリッド、磁気浮上式の高真空ポンプ

ターボ分子真空ポンプは、核融合の研究開発や、コーティング産業や分析機器などの産業分野で、クリーンな高真空または超高真空を必要とするアプリケーションに使用されます。  

原理的には、ターボ分子ポンプはハウジング内で急速に回転するタービンで、タービンの各ステージに多数のローターブレードが装着されています。回転するローターブレードの間にはブレードが反対方向に配置された固定ステーターディスクが配置されています。  

回転するローターブレードからガス分子への運動量伝達により、ガス分子は最初は無指向性の熱運動ですが、ポンプの吸気フランジからフォアバキュームフランジに向かって軸方向で指向性運動に変化します。  

分子流量範囲(10-3mbar(0.75 x 10-3Torr)未満の圧力)では、ガス分子の平均自由行程はローターとステーターブレード間の間隔よりも大きくなります(通常は10分の数ミリメートル)。これに対応して、分子は主に光学的に密度の高いローターブレードと衝突し、効率的な排気動作がもたらされます。層流(一定)流量(10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)を超える圧力)では、分子間の頻繁な衝突によりローターの効果が損なわれます。  

このため、ターボ分子ポンプは大気圧でガスを排気することができません。 

TURBOVAC MAGiNTEGRA:磁気浮上式ターボ分子ポンプ

分析、研究やコーティングアプリケーションなどの困難な産業アプリケーションに最適なコンパクトなポンプです。 

MAGiNTEGRAポンプは、高い抵抗性と性能を備え、柔軟性、コストとメンテナンス効率に優れています。

TURBOVAC i:ハイブリッドターボ分子ポンプ

研究開発、分析、ライフサイエンス、産業用コーティング分野の幅広いアプリケーションに適した汎用性の高いポンプ。

優れた排気性能、内蔵ドライブエレクトロニクスにより、容易に統合できます。プロセスの要件に合わせてバリエーションとアクセサリーを備えた8つのサイズを用意しています。

また、次のようなさまざまなバリエーションも提供しています。

  • TURBOVAC iXは、真空システムのコントローラーとして機能します。
  • TURBOVAC iRは、高電離放射線が周辺にあるアプリケーションの要件を満たします。
  • TURBOVAC iマルチインレット:マルチポイント真空性能を必要とするアプリケーション用

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当社のカスタマーフォーカスエンジニアリング(CFE)チームは、お客様の仕様に沿ったサービスを提供することを専門としており、要件の収集から製品のプロトタイプ作成まで、プロセスのあらゆる側面を管理します。また、必要に応じて多量のポンプの供給を確保することもできます。

CFEチームは、当社との協力をシンプルかつ迅速に行うことに取り組んでいます。お客様の要件を満たす高品質のソリューションを提供します。