油拡散真空ポンプ

油拡散ポンプは、流体作動式ポンプの製品群の一つです

ライボルトの革新的な加熱システムは、平均電気消費量を削減することで独自の利点をもたらし、従来の拡散ポンプやオイルブースターポンプと比較して、加熱時間を大幅に短縮します。高い排気速度と高真空、高ガススループットを必要とするアプリケーションや、二酸化炭素排出量を削減するためのエネルギー効率コントローラー（EEC）などのさまざまなエネルギー効率オプションとともに大型の産業用ブースターポンプが必要な場合に、カスタマイズされたソリューションを提供します。ライボルトの革新的なダイレクト加熱コンセプトは、高いエネルギー効率のためのスマートな加熱プロセスをもたらします。

油拡散ポンプは高真空を生成し、霧状（油蒸気）のポンプ液の高速の流れで動作します。すべての流体作動式ポンプは、ポンプ流体が電気ヒーター容器によって加熱され、油蒸気がジェットスタックノズルを通過した後に膨張する、同様のポンプメカニズムを備えています。排気されたガス分子は蒸気流に拡散し、排気チャンバーから排出されます。

ポンプ流体の分子は、衝撃インパルスによって流れの方向にガス分子に移動します。従って、排気されるガスはより高い圧力の空間に移動します。このテクノロジーは可動部品が不要なため、摩耗がありません。油拡散ポンプでは、ポンプ液の種類（シリコンオイルまたは鉱物油）、温度、ノズルの設計に応じて、運転中に対応する蒸気圧が上昇します。

蒸気ジェットは、ポンプの冷却された外壁のノズルから排出された後に凝縮するため、プロセスチャンバーには入りません。さらに、最新の独自のバッフル設計により、凝縮面の設計が改善され、オイルの逆流とオイル消費量が低減します。この単純な物理メカニズムにより、拡散ポンプは堅牢なテクノロジーになっています。

ポンプの背圧は、蒸気が流出するのに十分に低くなければなりません。これを確実にするために、対応するバックポンプ、通常はライボルトの機械式フォアバキュームポンプが使用されます。フォアバキューム圧力は、蒸気ジェットにも影響を与え、その値が最大背圧または臨界フォアライン圧力と呼ばれる臨界限界を超えると有害になります。

独自のジェットステージノズルシステム
お客様のアプリケーションに最適化
ライボルトの油拡散ポンプの利点

独自のジェットステージノズルシステム

蒸気流は蒸気流速度を可能な限り高速にするために超音速でノズルから放出されます。ジェットステージノズルシステムには3～5ステージがあり、ライボルトの油拡散ポンプの驚くべき排気速度を実現します。蒸気ジェットを構成するポンプ流体蒸気は、ポンプハウジングの水冷壁で凝縮されます。一方、移送されたガスは、通常はバックポンプによって除去される前に、1つ以上の後続ステ―ジでさらに圧縮されます（ガススループット）。

流体作動式ポンプで得られる圧縮率は非常に高く、流体作動式ポンプの高真空吸気口ポートで10^-7mbarの圧力があり、背圧が10^-1mbarの場合、排気されたガスは10^-6倍の圧縮率で圧縮されます。この圧縮比により、アプリケーションプロセスのための安定した高真空圧が保証されます。流体作動式ポンプの到達圧力は、ポンプの動作温度で使用される流体の分圧の値によって制限されます。当社の高品質の拡散ポンプオイルLVO 500、LVO 521、LVO540は、卓越した性能を保証します。