如何玩转真空计算?莱宝为您奉上使用宝典

此计算软件是由莱宝研发,面向客户开放使用,模拟现有系统的抽空结果。

莱宝真空计算软件使用指导 真空计算步骤 :Layout(系统搭建)> Editor (计算条件设置)> Calculate (执行计算)> Results(计算结果显示)

一、Layout系统搭建

系统搭建(Layout)是真空计算的基础,真空系统包括真空腔体,管路和真空泵等,其中真空腔体和前级真空泵(BACKING PUMP)是必须选择的,其他部件根据需要选择。选择部件可以通过添加键(ACTIVE)和删除键(DEACTIVE)操作,系统搭建完成后就可以开始计算条件设置(Editor)步骤了。

二、Editor计算条件设置

Editor(计算条件设置)可以设置真空泵的供电频率(注意:变频器控制的真空泵的真空表现和供电频率无关),管路长度,直径,真空腔体体积/内表面积等条件。您可以通过点击相关图标来操作,选中的图标会变成绿色。

Chamber真空腔体设置

点击Chamber (真空腔体设置)可以设置初始压强(Start pressure),目标压强 (Target pressure),真空腔体体积(Chamber Volume),气载(泄漏率或者工艺气体量Leak/process flow)和表面释气率(Desorption rate)。

如果您不确定系统的泄漏率或表面释气率可以选择点击“Show typical leak rates”( 推荐漏率)或“Show typical desorption rates”(推荐表面释气率)参考莱宝推荐的常用数据,推荐数据可能与实际情况有出入,仅供参考。

Pipe管路设置

点击Pipe(管路设置)可以设定管路的直径和长度等参数。管路的体积也属于被抽空间,对抽空的时间也有影响。管路的启始压强(Start pressure)可以在管路设置里面设定,如果管路处于真空状态就选择Pipe is evacuated ,如果选Pipe is not evacuated 则表示管路的初始压强与腔体初始压强相同。

Roots Booster罗茨泵设置

罗茨泵的参数可以在这里设置,点击泵的图标可以在罗茨泵列表里面选择一个罗茨泵。罗茨泵的数量可以在Number of pumps  中设置。注意:如果选择了多台罗茨泵,要考虑前面管路的数量是否与罗茨泵的数量匹配,请根据实际系统的管路情况设置。

罗茨泵有标准电机和变频电机两种形式。对于标准电机罗茨泵,计算软件会自动选择最佳的切入压强。对于变频电机罗茨泵,计算软件会在每个压强点自动选择最佳转速,罗茨泵启动后罗茨泵会逐渐从初始转速(Initial speed)加速到目标转速(Target speed),如果遇到高压情况罗茨泵自动减速避免过载。初始转速选择得过高,在抽空的开始阶段能会看到压强反弹,这是由于罗茨泵过载自动减速造成的。

Backing Pump前级泵设置

前级泵的参数可以在这里设置,点击泵的图标可以在前级泵列表里面选择一台前级泵。前级泵有标准电机和变频电机两种形式。采用标准电机的前级泵的抽速与供电频率相关,而采用变频电机的前级泵的抽速与供电频率无关。

三、Calculations执行计算

真空系统设置完成就可以按红色的CALCULATE(执行计算键),您会看到两个选项

Calculate speed curve(抽速曲线计算)

计算真空系统抽速曲线。

Calculate pump down(抽空曲线计算)

计算系统的抽空曲线。

选择上述两个选项之一就可以执行计算,计算结果会自动添加到计算结果列表里面。您可以给计算结果命名并长期保存,方便您对比不同设置的计算结果。只要在计算结果列表中双击计算结果的名称就可以打开计算结果文件。

四、Results计算结果显示

只有注册用户才能看到详细的计算结果,用户可以免费注册。

详细使用说明及使用工具请点击链接