薄膜

薄膜是一层厚度在纳米级到几个微米之间的材料。薄膜技术在过去的几十年中已有所改进,需要可靠的产品以达到最好的质量。对于薄膜沉积过程,莱宝可以使用高性能干 DRYVAC/RUVAC 泵送系统提供同类最佳的真空设备,满足该应用的要求。

带有干压缩泵的泵系统

  • 高氢泵送速度
  • 耐粒子性
  • 典型工艺气体的高介质相容性
  • 运行参数和罗茨泵控制的综合监测
  • 可调节温度和吹扫气体流量
  • 通过现场总线控制参数