干压缩真空泵,与罗茨鼓风机组合

  • 高泵送速度
  • 可靠度高
  • 适用于要求苛刻的工艺应用(灰尘,蒸汽等)
  • 监控系统

涡轮分子泵

  • 适合于处理粒子
  • 高前级真空容忍性
  • 在任何方向安装

单级旋片泵与罗茨鼓风机组合

  • 专为加载锁和传送腔
  • 的快速抽空而设计
  • 用于低真空范围的稳健真空发生器
  • 高可靠性
  • 成本优化