La decarburazione dell'ossigeno sotto vuoto (VOD, Vacuum Oxygen Decarburizing) viene generalmente utilizzata per produrre acciai inossidabili. Rispetto al processo VD, il trattamento VOD prevede un'ulteriore fase di insufflazione di ossigeno per ridurre il contenuto di composti ossidabili nell'acciaio, ad esempio carbonio o fosforo. Il flusso di ossigeno può essere utilizzato anche per il riscaldamento chimico della colata (processo VD-OB), in quanto le reazioni chimiche del contenuto di acciaio con l'ossigeno sono esotermiche.

Durante la fase di decarburazione, il sistema per vuoto deve essere in grado di funzionare in modo continuo a una pressione approssimativa compresa in un intervallo di circa 50-200 mbar, rimuovendo contemporaneamente flussi di gas elevati, in genere da 5.000 m³/h a 20.000 m³/h. La fase di decarburazione potrebbe durare circa 10-45 minuti.

Le principali sfide di questa applicazione sono le elevate quantità di particelle di polvere create durante la fase di insufflazione dell'ossigeno, accanto a questi picchi di flusso di gas con elevate concentrazioni di ossigeno che non ha reagito. 

La fase di decarburazione è sempre seguita da una fase di degasaggio sotto vuoto (VD) per la quale sono necessarie velocità di pompaggio tra 50.000 m³/h e 250.000 m³/h a pressioni di processo di circa 0,67 mbar.

La filtrazione della polvere è necessaria per intrappolare le quantità di polvere talvolta di grandi dimensione create durante il processo. Poiché le particelle di polvere sono spesso piroforiche, il sistema di filtrazione deve essere progettato di conseguenza. I design dei filtri utilizzati correttamente utilizzano quindi fasi di "pulizia del ritorno aria di gas inerti" per pulire la superficie del filtro.

Durante l'utilizzo prolungato dell'insufflazione di ossigeno a pressione elevata, anche i gas che fuoriescono dal degassatore del serbatoio hanno un'elevata densità, il che significa che immagazzinano molta energia termica. Per proteggere il filtro antipolvere dal surriscaldamento, durante la fase di insufflazione di ossigeno è necessario installare un refrigeratore del gas tra il filtro e il serbatoio.