In der Mikroelektronik, Solartechnik, Oberflächen-Beschichtung und Metallurgie laufen sehr viele Fertigungsprozesse unter Vakuum ab. Um diese Fertigungsprozesse sicher beherrschen zu können, sind Kenntnisse über die Grundlagen und Prinzipien der Vakuum-Erzeugung und -Messung unbedingt erforderlich. Bei zahlreichen Oberflächen-Analyse-Methoden und in der Elementar-Teilchen-Forschung etwa ist Vakuum ein Muss.
Für technisch und auch kaufmännisch orientierte Interessenten bieten wir verschiedene Grundlagenseminare an.
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B1 Grundlagen der Vakuumtechnik
Code: B1.1 bis B1.4
Zielgruppe: Anwender der Vakuumtechnik
Lernziel: Ziel des Seminars ist die Vermittlung der Grundlagen und Prinzipien der Vakuum-Technik, damit Sie die Vorgänge in Ihrer Vakuum-Anlage qualitativ und quantitativ verstehen können.
Inhalt:
- Physikalische und vakuumtechnische Grundlagen
- Definitionen, Einheiten, Berechnungen
- Dampf, Dampfdruck, Desorption
- Strömungsarten, Auspumpzeiten, Leitwerte - Aufbau und Wirkungsweise von Vakuum-Pumpen:
- Vorvakuumpumpen: Drehschieber-Pumpen, Wälzkolben-Pumpen
(Roots-Gebläse), Scroll- und Schrauben-Pumpen,
- Hochvakuumpumpen: Turbo-Molekularpumpen, Diffusions- und Kryopumpen
- Vakuumpumpstände
- Verbindungselemente in der Vakuumtechnik
- Einführung in die Total-Druck-Messung im Druckbereich von 1000 bis 10-12 mbar
- Dichtheits-Prüfung und Lecksuche - Lecksuchverfahren und praktische Beispiele
Das Seminar stellt Theorie und Experiment anhand von praktischen Versuchen, Schnittmodellen, Videos und betriebsfähigen Pumpen und Bauteilen dar.
Vorkenntnisse: Technisches Verständnis
Dauer: 3 Tage
Beginn - Ende:
Seminarbeginn erster Tag um 09:00 Uhr
Ende letzter Tag spätestens um 17:00 UhrSeminarleiter: Akkreditierter Trainer der VTS Academy
Ort: Vacuum Technique Service Academy, Leybold Köln
Teilnehmerzahl: 5 - 16
Sprache: Deutsch (Englisch auf Anfrage)
Anmeldeschluss: 2 Wochen vor Seminarbeginn
- Physikalische und vakuumtechnische Grundlagen
