In der Mikroelektronik, Solartechnik, Oberflächen-Beschichtung und Metallurgie laufen sehr viele Fertigungsprozesse unter Vakuum ab. Um diese Fertigungsprozesse sicher beherrschen zu können, sind Kenntnisse über die Grundlagen und Prinzipien der Vakuum-Erzeugung und -Messung unbedingt erforderlich. Bei zahlreichen Oberflächen-Analyse-Methoden und in der Elementar-Teilchen-Forschung etwa ist Vakuum ein Muss. 

Für technisch und auch kaufmännisch orientierte Interessenten bieten wir verschiedene Grundlagenseminare an. 

  • B1 Grundlagen der Vakuumtechnik

    Code: B1.1 bis B1.4

    Zielgruppe: Anwender der Vakuumtechnik

    Lernziel: Ziel des Seminars ist die Vermittlung der Grundlagen und Prinzipien der Vakuum-Technik, damit Sie die Vorgänge in Ihrer Vakuum-Anlage qualitativ und quantitativ verstehen können.  

    Inhalt:

    • Physikalische und vakuumtechnische Grundlagen
       - Definitionen, Einheiten, Berechnungen
       - Dampf, Dampfdruck, Desorption
       - Strömungsarten, Auspumpzeiten, Leitwerte
    •  Aufbau und Wirkungsweise von Vakuum-Pumpen:
       - Vorvakuumpumpen: Drehschieber-Pumpen, Wälzkolben-Pumpen
      (Roots-Gebläse), Scroll- und Schrauben-Pumpen,
      - Hochvakuumpumpen: Turbo-Molekularpumpen, Diffusions- und  Kryopumpen
      - Vakuumpumpstände
      - Verbindungselemente in der Vakuumtechnik
      - Einführung in die Total-Druck-Messung im  Druckbereich von  1000 bis 10-12 mbar
      - Dichtheits-Prüfung und Lecksuche - Lecksuchverfahren und praktische Beispiele

    Das Seminar stellt Theorie und Experiment anhand von praktischen Versuchen, Schnittmodellen, Videos und betriebsfähigen Pumpen und Bauteilen dar.

    Vorkenntnisse: Technisches Verständnis

    Dauer: 3 Tage

    Beginn - Ende: 
    Seminarbeginn erster Tag um 09:00 Uhr
    Ende letzter Tag spätestens um 17:00 Uhr

    Seminarleiter: Akkreditierter Trainer der VTS Academy
     

    Ort: Vacuum Technique Service Academy, Leybold Köln

    Teilnehmerzahl: 5 - 16

    Sprache: Deutsch (Englisch auf Anfrage)

    Anmeldeschluss: 2 Wochen vor Seminarbeginn