Typische Forschungsanwendungen für M-UHV Systeme:
- Oberflächenanalyse
- Katalyse
- Metallurgie
- Photovoltaik
- Halbleiter
- Energie
- Kombinatorische Materialforschung
Das M-UHV System ist eine hervorragende Plattform zur Integration zahlreicher UHV-Analysetechniken:
- Röntgen-Photoelektronen-Spektroskopie (XPS)
- Auger-Elektronenspektroskopie (AES)
- Energieverlustspektrometrie (ELS)
- UV-Photoelektronenspektroskopie (UPS)
- Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
- Auger-Rasterelektronenmikroskopie (SAM)
- Temperatur-Programmierte Desorption (TPD) / Temperatur-Programmierte-Reaktionsspektroskopie (TPRS) / Thermal-Desorption-Spectroskopie (TDS)
- Reflection high-energy electron diffraction (RHEED)
- Ionenstreuung-Spektroskopie (ISS)
- Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS)
- Rastertunnelmikroskopie (STM)
- Hochauflösende Elektronenverlustspektroskopie (HREELS)
- …..und viele mehr