A descarbonetação com oxigênio a vácuo (VOD) é normalmente utilizada para produzir aços inoxidáveis. Em comparação com o processo de VD, o tratamento de VOD envolve uma etapa adicional de insuflação de oxigênio para reduzir o teor de compostos oxidáveis do aço, como, por exemplo, carbono ou fósforo. O fluxo de oxigênio pode também ser utilizado para aquecimento químico do material fundido (processo de VD-OB), uma vez que as reações químicas do conteúdo do aço com oxigênio são exotérmicas

Durante a etapa de descarbonetação, o sistema de vácuo deve poder operar continuamente a uma pressão aproximada de ~50-200 mbar, enquanto elimina fluxos de gás elevados, normalmente, de 5.000 a 20.000 m³/h. A etapa de descarbonetação pode durar aproximadamente 10-45 minutos.

Os principais desafios dessa aplicação são as quantidades extremamente elevadas de partículas de poeira criadas durante a fase de insuflação de oxigênio, juntamente desses picos de fluxo de gás com elevadas concentrações de oxigênio não reagido. 

A etapa de descarbonetação é sempre seguida por uma etapa de desgaseificação a vácuo (VD), para a qual são necessárias velocidades de bombeamento entre 50.000 e 250.000 m³/h, com pressões de processo em torno de 0,67 mbar.

A filtragem de poeira é necessária para reter uma parte da grande quantidade de poeira criada durante o processo. Como as partículas de poeira geralmente são pirofóricas, deve-se projetar o sistema de filtragem adequadamente. Portanto, um bom design de filtro geralmente usa etapas de "limpeza contra-fluxo de gás inerte" para limpar a superfície do filtro.

Durante o longo período de operação de sopro de oxigênio sob pressão brusca, os gases provenientes do desgaseificador do tanque também possuem elevada densidade, o que indica que armazenam bastante energia térmica. Para proteger o filtro de poeira do superaquecimento, durante a fase de sopro de oxigênio, deve-se ter instalado um arrefecedor de gás entre o filtro e o tanque.