Para aplicações de metalurgia terciária, como, por exemplo, VIM ou VAR, a Leybold desenvolveu soluções de vácuo industrial que apresentam um design duradouro e confiável. Oferecendo excelentes dados de desempenho, são ideais para aplicações de demanda.
Tradicionalmente, nessas aplicações, utilizavam-se bombas de vácuo de palhetas rotativas ou de pistão rotativo lubrificadas a óleo. Atualmente, essas bombas foram amplamente substituídas por bombas de parafuso de compressão a seco, que são mais resistentes a poeira.
Para alcançar a alta velocidade de bombeamento necessária nas baixas pressões de operação, elas são colocadas em série com  boosters tipo Roots de 1 ou 2 estágios.
Para pressões de processo na faixa de 10-3 mbar (ou inferiores), a utilização de boosters de óleo é necessária na maior parte dos casos. Esse tipo de bomba fornece uma velocidade de bombeamento de referência para essa faixa de pressão específica, garantindo uma qualidade de aço elevada.

Desafios para o sistema de vácuo
- Poeira no gás de processo
- Elevadas temperaturas de entrada de gás
- Umidade residual e gases agressivos
- Pressões de processo de até 10-4 mbar (dependendo da liga específica)

Para proteger o sistema de vácuo, é necessária uma filtragem de poeira. Como as partículas de poeira geralmente são pirofóricas, deve-se projetar o sistema de filtragem adequadamente. Portanto, um bom design de filtro geralmente usa etapas de "limpeza contra-fluxo de gás inerte" para limpar a superfície do filtro.

A fusão por indução a vácuo (VIM) é usada para fundir aços de alta qualidade ou metais especiais por indução eletromagnética a vácuo. O forno de indução fica localizado dentro de uma câmara de vácuo. As dimensões do cadinho normalmente variam de 200 a 3.000 kg. O metal fundido é refinado a vácuo até alcançar a química de fusão precisa. As impurezas são removidas por reação química, flutuação, desassociação e volatilização.
O processo de VIM é utilizado, por exemplo, para produzir aços inoxidáveis, superligas, ligas magnéticas e para baterias ou metais não ferrosos de alta qualidade.


 

A refusão por arco sob vácuo (VAR) é utilizada para refundir continuamente um eletrodo consumível por meio de um arco sob vácuo.
O alto vácuo é mantido durante o processo de fusão para remover impurezas e impedir a formação de óxidos.
O processo de VAR é utilizado para melhorar a qualidade e a pureza dos lingotes ou metais fundidos pelo ar provenientes do processo de VIM para produzir metais limpos e homogêneos, com maior resistência ao desgaste e a fraturas.