フランジと真空シールの種類は何ですか?
一般に、金属製真空コンポーネント、ポンプ、バルブ、チューブなどの取り外し可能なジョイントにはフランジが付いています。ライボルトの低、中、高真空用の真空コンポーネントには、次の標準化フランジシステムが装備されています。
- 公称幅10、16、20、25、32、40および50 mmの小型フランジ（KF）（DIN 28 403へのクイックアクション接続）。値10、16、25および40は、PNEUROP推奨事項および技術委員会ISO/TC 112のISO推奨事項に従って推奨される幅です。2つの同一フランジを完全に接続するには、1つのクランピングリングと1つのセンタリングリングが必要です。
- 公称幅65、100、160、250、320、400、500および630 mmのクランプフランジ（ISO-K）。また、これらのフランジは、PNEUROPおよびISO/TC 112の推奨事項の公称幅および構造に対応しています。クランプフランジは、クランプまたはカラーリングで結合しています。シールにはセンタリングリングまたはガスケットが必要です。
- 上記と同じ公称幅のボルト留めフランジ（ISO-F）（PNEUROPおよびISO/TC 112に準拠）。特殊なケースでは、公称幅が小さいボルト付きフランジが使用されます。クランプフランジとボルト留めフランジはDIN 28 404に準拠しています。
公称幅はフランジの自由内径にほぼ等しい（ミリメートル単位）です。偏差が大きい場合は例外であるため、クランプフランジDN 63の内径は70 mmです。（表XIも参照）。
表XI円形断面を持つチューブ、パイプ、および開口部の公称内径（DN）および内径（PNEUROPによる）。
公称内径はパイプラインコンポーネントの内径とほぼ一致しています（DIN 2402～1976年2月）。実際には、公称内径シリーズの左側の列が推奨されます。
真空フィッティングとその材料
高真空コンポーネントはアルミニウムまたはステンレススチール製です。ステンレス鋼は若干高価ですが、さまざまな利点があります。脱ガス率が低く、耐腐食性があり、200℃（392℉）の温度で脱ガスでき、メタルシールが可能で、ステンレス鋼はアルミニウムよりも傷に強くなります。
超高真空コンポーネントはステンレススチール製で、高温でベーク可能なCF形フランジが付いています。これらのコンポーネント（フランジを含む）は、公称幅16～250 mmまで連続生産されています。CFフランジは、固定フランジと、または回転可能なカラーフランジがあります。ほとんどすべてのメーカーのコンフラットフランジと連結することができます。銅製ガスケットは、シールの目的で使用します。
基本的に、フランジは接続チューブおよびそれらに接合されている部品よりも小さくしてはなりません。腐食性ガスや蒸気が排気されず、真空システムが80℃（176℉）を超える温度にさらされていない場合、NBR（ペルバン）またはCR（ネオプレン）フランジOリングでのシーリングは、低、中、および高真空領域での作業に適しています。これは、最終的に組立られる前に真空システムの動作をテストする場合によく発生します。
すべてのステンレス製フランジは、障害なく最高200℃（392℉）の温度で脱ガスできます。ただし、ペルブナンシーリング材はフランジシーラントとしては適していません。むしろ、VITILAN®（特殊FPM）シーリングリングとアルミニウムシールを使用して、それぞれ最大150℃（302℉）および200℃（392℉）の加熱処理を行う必要があります。このような脱ガス後、真空システムでは10-8 mbarまでの圧力（すなわちUHV範囲までの圧力）を得ることができます。
10-8 mbar未満の圧力を生成するには、より高いベークアウト温度が必要です。超高真空技術のページで説明したように、UHVシリーズでの作業には、基本的に異なるアプローチと金属製シールリング付きCFフランジの使用が必要です。
ガスロックおよびシールオフフィッティング
多くの場合、ガスが充填された、または排出された容器を密閉するだけでなく、また、後でこれらの容器の圧力または真空を確認し、ガス充填を後排気または補充または交換できる状態にあることが望ましいです。
これは、対応するガスロックを介して作動するライボルトのシールオフフィッティングを使用して、非常に簡単に行うことができます。真空またはガス充填容器のフランジ継手は、実際のバルブを形成する小さなクロージャーピースによってチューブ内で密閉されています。作動に必要なガスロックは、排出またはガス充填後に取り外されます。そのため、ガスロック1個で任意の数のシールオフフィッティングを作動させることができます。図2.81に示されているのは、そのような配置の断面図です。ガスロックおよびシールオフフィッティングは、ライボルト製で、公称幅がDN 16 KF、DN 25 KFおよびDN 40 KFです。それらはステンレス鋼でできています。シールオフフィッティングのリーク率が1 · 10-9 mbar l/s未満です。これらは最大2.5 barの圧力超過に耐えることができ、150℃（302℉）までの温度耐性があり、標準のブランクフランジによって汚れから保護することができます。
図2.81センタリングリングとシールオフフィッティング付きガスロック、断面図
典型的な用途例としては、デュワー瓶、液体ガス容器（タンク）、長距離エネルギーパイプラインなど、絶縁真空を持つ二重壁容器があります。それらはまた、基準の排気または事後排気にも使用され、科学機器の真空をサポートします。ガスロック付きのシールオフフィッティングがよく使用されます。従来は、必要に応じて後排気を行うためにポンプを常時接続する必要がありました。ガスロックとシールオフフィッティングの使用により、容器に真空気密シールが提供され、ポンプは点検時や排気時にのみ必要となります。
